EXC100L 全陶瓷製 線性馬達驅動

    附加檔

    EXC100L.pdf
    產品名稱 : 全陶瓷製 線性馬達驅動
    產品型號 : EXC100L
    產品描述

    實現10納米的最小驅動單位。因追求NANO而進化的超精密機床。

    EXC100L不僅採用了本社製造的氣壓軸承“陶瓷製空氣滑塊”和線性馬達驅動,並且世界首次搭載了完全非接觸XY直交工作台。並通過搭配使用高分解能光柵尺,實現最小驅動單位10納米,並維持穩定的超精密加工。

    產品介紹

    產品特徵

    實現工作台最小驅動10納米

    通過採用本社製造的陶瓷製空氣滑塊和線性馬達,世界首次搭載了完全非接觸XY直交工作台。並通過搭配使用高分解能光柵尺,實現工作台最小驅動單位10納米。

    標準搭載高性能加工液冷卻裝置

    通過標準搭載高性能加工液冷卻裝置,維持穩定的超精密加工。

    主要構造採用陶瓷

    由於採用線性馬達驅動方式,無需使用滾珠絲槓,避免了傳送機構部件產生扭曲或磨損。此外,通過在主要構造材料中採用陶瓷材質,保證了長期穩定的高精度。

    產品規格

    各軸行程 X×Y×Z(mm) 100 × 120 × 100
    U×V軸行程(mm) 20 × 20
    錐度加工控制角度 ±6°(板厚:60mm)
    最大工件尺寸 寬×長×高(mm) 150 × 150 × 60
    最大工件質量(kg) 10(包括夾具等)
    機床主體尺寸 寬×長×高(mm) 2280 × 1830 × 1990

     

    加工樣品

    使用φ0.02極細絲的微細齒輪加工

    線性馬達帶來的伺服高響應性使齒輪的高精度加工成為可能。

    微細齒輪加工
    電極絲直徑 φ0.02
    工件材質 G5(超硬)
    工件板厚 6mm
    模塊 0.026
    加工面粗糙度 0.70μmRz
    加工時間 1小機15分
    加工液

     

    極細絲實現的纖維噴嘴加工

    使用φ0.03極細絲的纖維噴嘴加工(下孔φ0.065mm)。

    纖維噴嘴加工
    電極絲直徑 φ0.03
    工件材質 SUS材料
    工件板厚 0.8mm
    溝寬 0.060、0.100mm
    加工面粗糙度 0.60μmRz
    加工時間 1孔6分、30分
    加工液 ?

     

    極細絲實現的螺旋狀加工

    使用φ0.03的極細絲加工螺旋狀的零部件。

    螺旋狀加工
    電極絲直徑 φ0.03
    工件材質
    工件板厚 1.3mm
    加工面粗糙度 0.80μmRz
    加工時間 2小時13分
    加工液