全陶瓷製 線性馬達驅動
附加檔
EXC100L.pdf產品介紹
產品特徵
實現工作台最小驅動10納米
通過採用本社製造的陶瓷製空氣滑塊和線性馬達,世界首次搭載了完全非接觸XY直交工作台。並通過搭配使用高分解能光柵尺,實現工作台最小驅動單位10納米。
標準搭載高性能加工液冷卻裝置
通過標準搭載高性能加工液冷卻裝置,維持穩定的超精密加工。
主要構造採用陶瓷
由於採用線性馬達驅動方式,無需使用滾珠絲槓,避免了傳送機構部件產生扭曲或磨損。此外,通過在主要構造材料中採用陶瓷材質,保證了長期穩定的高精度。
產品規格
各軸行程 X×Y×Z(mm) | 100 × 120 × 100 |
U×V軸行程(mm) | 20 × 20 |
錐度加工控制角度 | ±6°(板厚:60mm) |
最大工件尺寸 寬×長×高(mm) | 150 × 150 × 60 |
最大工件質量(kg) | 10(包括夾具等) |
機床主體尺寸 寬×長×高(mm) | 2280 × 1830 × 1990 |
加工樣品
使用φ0.02極細絲的微細齒輪加工
線性馬達帶來的伺服高響應性使齒輪的高精度加工成為可能。
電極絲直徑 | φ0.02 |
工件材質 | G5(超硬) |
工件板厚 | 6mm |
模塊 | 0.026 |
加工面粗糙度 | 0.70μmRz |
加工時間 | 1小機15分 |
加工液 | 油 |
極細絲實現的纖維噴嘴加工
使用φ0.03極細絲的纖維噴嘴加工(下孔φ0.065mm)。
電極絲直徑 | φ0.03 |
工件材質 | SUS材料 |
工件板厚 | 0.8mm |
溝寬 | 0.060、0.100mm |
加工面粗糙度 | 0.60μmRz |
加工時間 | 1孔6分、30分 |
加工液 | ? |
極細絲實現的螺旋狀加工
使用φ0.03的極細絲加工螺旋狀的零部件。
電極絲直徑 | φ0.03 |
工件材質 | 銅 |
工件板厚 | 1.3mm |
加工面粗糙度 | 0.80μmRz |
加工時間 | 2小時13分 |
加工液 | 油 |